halbautomatische, softwareunterstützte Strukturbreitenmessung semiautomated CD measuring
Overview 

 
MCS CDi semiautomated CD measuring

MCS CDi semiautomated CD measuring

Interactive CD measurement tool. Highly efficient modular software for microscopic systems with fully automatic CD measuring and overlay measuring.

 
Art.No.:MCS-CDi


MCS- CD (Critical Dimension Interactive Measuring)
 
  • integration and control of the system components: microscope, scanning stage and camera
 
CD Measurement by mouse click with tools for:
  • distance
  • CD
  • diameter
  • angle
  • overlay accuracy
  • displaying wafermap
  • intuitive positioning of scanning stage by clicking the map
Available microscopes of the INM series and the Leica DM12000 microscopes:
  • integration and control of the system components: microscope, scanning stage and camera
  • displaying the wafermap
  • interactive measurements within the image
  • saving the image connected to the coordinates
  • compare saved images to live images
MCS CDi  (critical dimension interactive measuring)
 
  • Integration und Steuerung der Systemkomponenten:
    Mikroskop, Scanningtisch und Kamera
 
CD Messung per Mausklick mit Tools für:
  • Abstand
  • Strukturbreite
  • Durchmesser
  • Winkel
  • Overlaygenauigkeit
  • Darstellung Wafermap Übersichtskarte
  • intuitive Scanningtischpositionierung durch Klick auf die Map
Verfügbar Mikroskope der INM Serie und Leica DM8000 DM12000 Mikroskope :
  • Integration und Steuerung der Systemkomponenten:
    Mikroskop, Scanningtisch und Kamera
  • Darstellung Wafermap
  • interaktive Messungen im Bild
  • Bildspeicherung mit Koordinaten
  • Vergleich gespeicherter Bilder mit Livebild 
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