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DM8000/DM12000 Infrared Configuration INSPEC IS Wafer Inspection System

DM8000/DM12000 Infrared Configuration INSPEC IS Wafer Inspection System

System microscope for wafer inspection and measuring tasks. Options for, NIR and VIS, incident and transmitted light. Option wafer loader.
Systemmikroskop für Wafer Inspektions- und Messaufgaben, Auflicht und Durchlicht für VIS und NIR
 
Art.No.:77600200_IR

ProMicron
24 Bachmühlweg
74366 Kirchheim /Neckar

Telephone: 07143 - 40560
Fax: 07143 - 405615
Email: info@promicron.de

Features / Options
  • MCS software suite for inspection, review and a wide variety of measuring tasks: linewidth, overlay, film thickness, step height and surface profiles
  • Scanning stages for ultra fast ON THE FLY SCANNING
  • White Light interferometry
  • Incident and transmitted light for VIS and NIR spectral range
  • top to bottom alignment or frontside/backside alignment on Si-Wafers
    "through" Silicon inspection
 Features / Optionen
 
  • MCS Software Suite für Inspektion, Review und ein breites Spektrum an Messaufgaben: Linienbreiten, Overlay, Schichtdicken, Kantenhöhen und Oberflächenprofilen
  • Scanning Tischen für ultra schnelles ON THE FLY SCANNING
  • Weißlichtinterferometrie
  • Auflicht und Durchlicht für VIS und NIR Spektralbereich
  • Vorderseiten zu Rückseiten alignment (top - bottom alignment) auf Si-Wafer

  • "through" Silicon Inspektion

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Incident Light
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Transmitted Light
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