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Leica DM8000 Infrared Configuration with software INSPEC IS semi-automatic Wafer & MEMS Inspection

Leica DM8000 Infrared Configuration with software INSPEC IS semi-automatic Wafer & MEMS Inspection

NIR modified microscope for IR wafer inspection and IR measuring tasks, incident and transmitted infrared light. Option wafer robot.NIR modifiziertes Mikroskop für VIS und IR Inspektion im Auflicht und Durchlicht.
 
Art.No.:DM8000_IR

ProMicron
24 Bachmühlweg
74366 Kirchheim /Neckar

Telephone: +49 7143 - 40560
Fax: +49 7143 - 405629
Email: info@promicron.de

Features / Options
  • MCS software suite for inspection, review and a wide variety of measuring tasks: line width, overlay, film thickness, step height and surface profiles
  • Scanning stages for ultra fast "on the fly"  scanning
  • White light interferometry
  • Incident and transmitted light for VIS and NIR spectral range
  • top to bottom alignment or front/rear side alignment on Si-Wafers
    "through" Silicon inspection
 Features / Optionen
 
 
  • Infrarot Auflicht und Durchlicht
  • für Spektralbereich VIS und NIR einsetzbar
  • Vorderseiten zu Rückseiten alignment (top - bottom alignment) auf Si-Wafer
  • "through" Silicon Inspektion

  • MCS Software Suite für Inspektion, Review und ein breites Spektrum an Messaufgaben: Linienbreiten, Overlay, Schichtdicken, Kantenhöhen und Oberflächenprofilen

  • Scanning Tische für ultra schnelles SCANNING ON THE FLY 
  • Weißlichtinterferometrie Option
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Incident Light
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Transmitted Light
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