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Inspection & Review station for Defect Review, automated, robot waferhandling 3 to 8 Wafer, Classification and Documentation

Inspection & Review station for Defect Review, automated, robot waferhandling 3" to 8" Wafer, Classification and Documentation

Automatische Station, Inspektion und Defektreview für Wafer/Substrate auf Basis von importierten "Defektdaten" "defectfiles" für KLARF Daten
 
Art.No.:Review_Station

ProMicron
24 Bachmühlweg
74366 Kirchheim /Neckar

Telephone: +49 7143 - 40560
Fax: +49 7143 - 405629
Email: info@promicron.de

 

 Micro Inspection & Review

- optical review for wafers based on  imported scanner data

- interactive defect classification by operator

- freely definable defect code table

- data import for KLARF data (KLARF is registered trademark of KLA Tencor)

- tables (with colours adjustable for display on wafer-map)

- Fast recipe creation by import of chip designs of KLARF

 (KLARF is a registered trademark of KLA Tencor)

(no manual teaching necessary)

- the reference point is picked up by defect scanner

- fine alignment of defects in order to increase precision

- for offset correction or for tool matching

- graphical display of defects on focus-adjustable wafer-map

- overlay display of defects in live camera picture

- comfortable sorting function and complex possibilities of logical relations (for any characteristics) i.e. defect size 

- comfortable table positioning on wafer-map (mouse click on defect)

- display of current position on wafer-map

- automatic picture saving

- image documentation with overlay of the microscope parameter possibility of reset (of microscope settings)

- updating of defect files after review (write KLARF File)(KLARF is a registered trademark of KLA Tencor)

- auto-alignment, precise moving to coordinate positions and alignment structures  

Options:
SECS GEM Interface
Makro-inspection with Taumler

Inspektion & Defect Review System
 
-Defectreview für Wafer auf Basis von importierten KLA Defektdaten "KLARF Files" (KLARF ist ein eingetragenes Warenzeichen von KLA Tencor)

- Interaktive Defektklassifizierung durch Operator

- frei definierbare Defectcodes-Tabellen (farblich einstellbar für Anzeige auf Wafermap)

- Schnelle Rezepterstellung durch Import des Chipdesigns von KLARF (KLARF ist ein eigetragenes Warenzeichen von KLA Tencor)

(manuelles Einlernen des Designs entfällt)

- Refenzpunkt Übernahme vom Defektscanner

- Feinalignment an Defekten zur Steigerung der Genauigkeit

(für Offsetkorrektur bzw. für Toolmatching)

- grafische Darstellung der Defekte auf zoombarer Wafermap

- overlay Darstellung der Defekte im Kameralivebild

- komfortable Sortierfunktionen und komplexe logische Verknüpfungsmöglichkeiten (für beliebige Merkmale z.B. Defektsize )

- komfortable Tischpositionierung auf Wafermap (mouseclick on defect)

- Anzeige der aktuellen Position auf der Wafermap

- automatisches Speichern von Bildern

- Bilddokumentation mit Overlay der Mikroskopparameter (Rückführbarkeit der

Mikroskopeinstellungen)

- Aktualisierung des Defektfiles nach dem Review (write KLARF File) (KLARF ist ein eigetragenes Warenzeichen von KLA Tencor)

-Autoalignment präzises Anfahren von Koordinaten / Alignmentstrukturen

Optionen:
SECS GEM Interface
Makroinspektion mit Taumler

 
                                                 Review screenshotl.jpg
 
                                                  img_0107-l-2.jpg
 
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