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Review station for defect review of patterned wafer and bare wafer

Review station for defect review of patterned wafer and bare wafer

Efficient tool to analyse and classify defects, which are detected previously by automatic defectscanning tool (i.e. KLA Tencor Inspection Tools). Effizientes Review System zur Analyse und Klassifikation von importierten Defektkoordinaten
 
Art.No.:Defect_Review_Station

ProMicron
24 Bachmühlweg
74366 Kirchheim /Neckar

Telephone: +49 7143 - 40560
Fax: +49 7143 - 405629
Email: info@promicron.de

 

Defect Review System
 
Interactive review is based on imported defect codes (KLA data i.e. KLARF files  (KLARF is registered trademark of KLA Tencor)). Thereby the coordinate system refers to the same reference point which was used for automatic defect scan before.  To carry out the alignment you have two options: either automatically or  interactively by means of reference structures or with bare wafers by means of  wafer edge detection. To improve precision fine alignment can be applied additionally. Even the smallest defects and lowest in contrast ones are reliably positioned in the center of the camera picture by the motorized stage.
 
The imported defects are displayed graphically as zoomable wafermap and listed in a chart with all features available.
 
In order to choose all relevant defects the MCS-RV software offers comfortable sorting functions with logical link options of all features.
 
The selected defects are marked via mouse click in the chart or map and positioned in the center of the camera picture i.e. the eye-piece picture and can be analysed with all available magnifications and microscopic contrast methods.
 
For this purpose, the MCS Application-Software offers the operater many useful tools. Several measuring tools enable precise statements on morphology and geometry of the defects. Lenth, width, diameter, area, density i.e..
 
Also height determination can easily be carried out by analysing focus drive z- encoder or laserautofocus.
 
In order to prepare for an offline review operating mode a fully automatic picture recording of the defects is possible. Via the flexibly useable "MCS actionprocessing" it is even possible to record optionally with several magnifications and/or contrast methods per defect. Later the defect analysis can be carried out on any offline  PC on the basis of the generated picture data.
 
The defect classification is enlisted in the editable and expandable defect code chart.
 
The whole data set then can be rewritten as updated KLARF file and assigned to a higher level yield Management software.
 
 
Option:
SECS-GEM interface
Defect Review System
 
Das interaktive Review erfolgt auf Basis von importierten Defektkoordinaten (KLA Daten bzw. KLARF files (KLARF ist ein eigetragenes Warenzeichen von KLA Tencor)). Dabei wird das Koordinatensystem auf denselben Referenzpunkt bezogen, das für den automatischen Defektscan verwendet wurde. Das Alignment erfolgt wahlweise automatisch oder interaktiv anhand von Referenzstrukturen bzw. bei Barewafern durch Bildantasung der Waferkanten. Zur Steigerung der Präzision kann zusätzlich ein Feinalignment an Defekten erfolgen. Auch kleinste und kontrastarme Defekte werden zuverlässig vom motorischen Kreuztisch in die Mitte des Kamerabildes positioniert.

Die importierten Defekte werden in einer zoombaren Wafermap grafisch dargestellt und in einer Tabelle mit allen verfügbaren Merkmalen aufgelistet.

Zur Auswahl von relevanten Defekten stellt die MCS-RV Software komfortable Sortierfunktionen mit logischen Verknüpfungsmöglichkeiten aller Merkmale zur Verfügung.

Die selektierten Defekte werden per Mausklick in die Tabelle oder Map mittig im Kamerabild bzw. im Okularbild positioniert und können mit allen verfübaren Vergrößerungen und mikroskopischen Kontrastverfahren analysiert werden.

Die MCS Applikationssoftware stellt dem Operator hierzu viele nützliche Funktionen zur Verfügung. Verschiedene Messwerkzeuge ermöglichen präzise Aussagen zur Morphologie und Geometrie der Defekte. Länge, Breite, Durchmesser Fläche, Density, usw. seien beispielhaft erwähnt.

Auch Höhenmessungen sind durch Auswertung des Fokussiertrieb z-Encoders oder des Laserautofokus schnell und einfach möglich.

Als Vorbereitung für den Offline Review Betriebsmodus kann eine vollautomatische Bildaufnahme der Defekte erfolgen.  Durch das flexibel einsetzbare "MCS actionprocessing" ist es sogar möglich wahlweise mit mehreren Vergrößerungen und/oder Kontrastverfahren je Defekt abzuspeichern. Die Defektanalyse kann dann später auf beliebigem PC offline anhand der generierten Bilddaten erfolgen.

Die Defektklassifizierung erfolgt durch Einträge in die editier- und erweiterbare Defektcode - Tabelle.

Der gesamte Datensatz kann dann als updated KLARF File neu geschrieben und an eine übergeordnete Yield Management Software übergeben werden.

Option:

SECS-GEM Interface

 

 
                                                 Review screenshotl.jpg

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