|  | MCS-TF automatic Thinfilm Measurement - measuring system with microscope, waferhandling optionVollautomatische Dünnfilm-Messung. Leistungsfähiges System für Schichtdicken zwischen 50nm und ca. 70µm auf Basis des faseroptischen Miniatur-Spektrometers Nanocalc unseres Kooperationspartners Firma Mikropack (Messprinzip: Weisslicht Reflektometrie)
ProMicron 24 Bachmühlweg 74366 Kirchheim /Neckar
Telephone: 07143 - 40560
Fax: 07143 - 405615
Email: info@promicron.de
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The measuring system that sets new standards:
- Fully automated
- Accurate and efficient
- High capacity
- Simultaneous measurements
- Refractive index measurement
- Programmable materials catalog
- 2D/3D Mapping
- Motorized xy-stage
- Miniature fiber-spectrometer with no moving parts
- Wafer transport: fast, secure and free of contamination
- Modular design
- High reproducibility
- 400-800nm spectral scope
- smallest size of the measuring spot 4µm
- Layer thickness distribution in 2D and 3D
- Automatic high-performance microscope
- High precision in x/y positioning
- Real-time laser auto-focus
- Wafer size from 100mm to 200mm diameter
- Compatible with clean room class 1
- Simple handling
- High reliability
Optional features:
- Wafer inspection and defect review
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Das Messsystem, das neue Standards setzt:
- vollautomatisch
- präzise und effizient
- hoher Durchsatz
- simultane Messungen
- Brechungskoeffizientenmessung
- programmierbarer Werkstoffkatalog
- 2D/3D Mapping
- motorisierter Kreuztisch
- Faser-Miniatur-Spektrometer ohne bewegte Teile
- Wafer Transport: schnell, sicher und kontaminationsfrei
- modularer Aufbau
- hohe Reproduzierbarkeit
- 400-800 nm Spektrale Bandbreite
- kleinste Größe des Messpunktes 4µm
- Schichtdickenverteilung in 2D und 3D
- automatisches Hochleistungsmikroskop
- hohe Präzision bei x/y Positionierung
- Echtzeit Laser Autofokus
- Wafer Größe von 100mm bis 200mm dm
- Reinraumklasse 1 kompatibel
- einfache Bedienung
- hohe Verlässlichkeit
Optionale Funktionen:
- Wafer inspection und defect review
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MCS-TFM in combination with the Leica DM6000 microscope / MCS-TFM in Kombination mit Leica DM6000 Mikroskop |
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Field of applications:
Wafer Industry
- Photoresists
- Oxides
- Nitrides
Surface coatings
- Anti-reflection coatings
- Filters, filter layers
- Protective layers
Display production
- Cell Gap
- Polyimide
- ITO layers
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Anwendungsgebiete: Halbleiterfertigung
Oberflächenbeschichtungen, Coatings
- Antireflexschichten
- Filter; Filterschichten
- Schutzschichten
Displayfertigung
- Cell Gap
- Polimide
- ITO Schichten
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 User interface of the Thin Film Measurement Oberfläche der Schichtdickenmessung |
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