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Interference Microscopy option for 3D Surface Metrology in nanometer scale, scanning white light interferometry Mirau and Michelson

Interference Microscopy option for 3D Surface Metrology in nanometer scale, scanning white light interferometry Mirau and Michelson

fast, reliable contact-free measurement of 3-d topographies with nanometer accuracy available with different microscopes Weißlichtinterferometrie; schnelle, Oberflächentopografie Analyse
 
Art.No.:WLI-System

ProMicron
24 Bachmühlweg
74366 Kirchheim /Neckar

Telephone: +49 7143 - 40560
Fax: +49 7143 - 405629
Email: info@promicron.de

Microscope equipment on the basis of INM200 or Ergoplan with interferometer hardware and software for topographic measurement and exporting 3D data. Available also as upgrade feature in combination with inspection, CD or thin film measurement.
 
The measurements are based on white light interferometry, because of the fact that coherent light waves can overlap each other spatially and temporally. Thereby the beams of the illumination unit are split up with a beam splitter. Part of the light reaches the object surface, the other goes to a reference mirror and creates a reflection. Due to  parallel recording and processing of the measured points, information about the heights can be collected for a wide area within a short period of time.
 
Typical applications in research and quality assurance are the characterization of surfaces with different roughness values  (wafer structures, mirrors, glass, metal), the determination of step heights and the precise measurement of curved surfaces, such as micro lenses. The efficient, robust and highly accurate analysis algorithms are the results of extensive research and experience in this area.
Mikroskopausrüstung auf Basis INM200,  Ergoplan oder DM8000 mit Interferometer- Hardware & Software zur Vermessung der Topographie und zum Export der 3D Daten. Auch als Upgrade in Kombination mit Inspection, CD oder Thin Film Measurement erhältlich.
 
Typische Aufgaben in der Qualitätssicherung und in der Forschung sind die Charakterisierung von Oberflächen verschiedener Rauheiten (Waferstrukturen, Spiegel, Glas, Metalle), die Bestimmung von Stufenhöhen und die präzise Messung von gekrümmten Oberflächen, wie z.B. Mikrolinsen.  Die in der Software enthaltenen effizienten, robusten und hochgenauen Auswertealgorithmen sind Ergebnis umfangreicher Forschungstätigkeit.
 
Den Messungen liegt das Interferometrie Verfahren zugrunde, das sich darauf stützt, dass sich räumlich und zeitlich kohärente Lichtwellen überlagern können. Dabei werden die Strahlen der Beleuchtungseinrichtung mittels Strahlteiler aufgeteilt. Ein Teil des Lichtes gelangt zur Objektoberfläche, der andere zu einem Referenzspiegel und von dort zurück reflektiert. Im Unterschied zu vielen anderen Verfahren wird das Bild nicht punktförmig oder zeilenweise gerastert. Die Bildaufnahme geht sekundenschnell (es wird  ein Stack von kompletten Kamera-Frames eingezogen) und die Verarbeitung der Messpunkte  erfolgt massiv parallel durch Nutzung vieler Grafikprozessoren CUDA. So können Höheninformationen großflächig und in sehr kurzer Zeit gewonnen werden.
wli silicon mesa surface
 
 
  trench
 
 Hardware Versions: 
  • INM200
  • Ergoplan
  • Michelson Interferometer
  • Mirau Interferometer
Hardware Varianten: 
  • INM200
  • Ergoplan
  • Michelson Interferometer
  • Mirau Interferometer
Software features:
  • User-friendly operations
  • Various export formats
Software Features:
  •  Anwenderfreundliche Bedienung
  •  Vielfältige Exportformate
  softmark_wli-2-2.png
  profil_50x-2_wli-2.png
 
wli_1-l-l.jpg         mirau-l.png
Prescan mode:
  • Fast scan with live preview function
  • Automatic acquisition of the travel interval relevant for the real scan procedure
  • Automatic optimization of the scanning conditions 
Prescanmodus:
  • Schneller Scan mit Live-Vorschaufunktion
  • Automatische Erfassung des Verfahrintervalls für den eigentlichen Scanvorgang
  • Automatische Optimierung der Aufnahmebedingungen
Automatic parameter analysis:
  • Determination of the medium wave length
  • Determination of the coherence length
Automatische Parameteranalyse:
  • Ermittlung der Mittelwellenlänge
  • Ermittlung der Kohärenzlänge
 
 
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White Light Interferometry, Weißlichtinterferometrie