| Systems for semiconductor industry, wafer and solar cell production for chip inspection and measurement of small structures, surface metrology with white-light, confocal or white light interference, wafer front and backside inspection, infrared microscopes; software for microscopesystems |
Systeme für die Halbleiterindustrie, Solarzellenfertigung zur Chipinspektion und Vermessung kleinster Strukturen, mit Weißlicht- Konfokal oder Weisslichtinterferenz Wafer- Vorder- und Rückseiteninspektion, Infrarotmikroskope; zudem: MCS, modular aufgebaute Steuerungssoftware für rechnergesteuerte Mikroskope |
