|  | Messmikroskop für Aufgabenstellungen mit hoher Vergrößerung (bis 1000x) und großflächigen TeilenStativ aus massivem Granit, Leica DMRM Mikroskopkopf, Fokusbaugruppe mit hoher Tragzahl / Traglast, Steuerung per Software
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Messmikroskope für hohe Vergrößerungen und große Messbereiche haben oft nur eine unzureichende Schwingungssteifigkeit. Schwingungsamplituden von 0,5 µm wirken bereits verheerend bei einer Tiefenschärfe von ca. 0,8 µm (typisch für Objektiv 100x/0,9) . Das hier realisierte Konzept ermöglicht Messbereiche bis 300mm in Y-Richtung bei Vergrößerungen bis 1000 fach. Basis ist ein sehr massives Stativ aus Granit und die extrem steife Ausführung des Fokus- Schlittens, an dem der relativ leichte, aber schwingungssteife DMR Optik-Kopf verschraubt ist. Das System ist prädestiniert für anspruchsvolle Messaufgaben in der Halbleiter- und Sensorindustrie oder im Bereich der Solarzellenfertigung und Displaytechnologie. |
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Beispiel Ausrüstungsliste Mikroskopkopf Leica DMR:
Auflichtmodul RF4
Reflektor BF / DF
Blendenmodul RF
Trinokulartubus
Okular L-PLAN 10x/25 für Brillenträger
Objektive:
- Plan Fluotar 2.5x (Übersichtsobjektiv für Hellfelld, - Plan 5x/0.15 BD -/D 12.2
- Plan 10x/0.30 BD -/D 11.0
- Plan 20x/0.50 BD 0/D 1.27
- Plan 50x/0.80 BD 0/D 0.5
- Plan Fluotar 100x/0.90 BD 0/D 0.3
- Ausrüstung für DIC (differentieller Interferenzkontrast) Ergänzend sind wählbar: Messtische: motorisch oder manuell, Messbereiche 100x100 mm bis 300x300 mm |
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