Computer gesteuert Hier finden Sie Systeme für die Halbleiterindustrie, Solarzellenfertigung zur Chipinspektion und Vermessung kleinster Strukturen, Wafer- Vorder- und Rückseiteninspektion mit Weißlicht oder Infrarot; zudem: MCS - Microscope Control Software, modular aufgebaute Steuerungssoftware für rechnergesteuerte Mikroskopie
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