|  | MCS-TFM Thinfilm Measurement - automatisches Schichtdicken-Messsystem mit Mikroskop und optionalem WaferloaderVollautomatische Dünnfilm-Messung. Leistungsfähiges System für Schichtdicken zwischen 50nm und ca. 70µm auf Basis des faseroptischen Miniatur-Spektrometers Nanocalc unseres Kooperationspartners Firma Mikropack (Messprinzip: Weisslicht Reflektometrie)
ProMicron Bachmühlweg 24 74366 Kirchheim /Neckar
Telefon: 07143 - 40560
Telefax: 07143 - 405615
Email: info@promicron.de
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Das Messsystem, das neue Standards setzt:
- vollautomatisch
- präzise und effizient
- hoher Durchsatz
- simultane Messungen
- Brechungskoeffizientenmessung
- programmierbarer Werkstoffkatalog
- 2D/3D Mapping
- motorisierter Kreuztisch
- Faser-Miniatur-Spektrometer ohne bewegte Teile
- Wafer Transport: schnell, sicher und kontaminationsfrei
- modularer Aufbau
- hohe Reproduzierbarkeit
- 400-800 nm Spektrale Bandbreite
- kleinste Größe des Messpunktes 4µm
- Schichtdickenverteilung in 2D und 3D
- automatisches Hochleistungsmikroskop
- hohe Präzision bei x/y Positionierung
- Echtzeit Laser Autofokus
- Wafer Größe von 100mm bis 200mm dm
- Reinraumklasse 1 kompatibel
- einfache Bedienung
- hohe Verlässlichkeit
Optionale Funktionen:
- Wafer inspection und defect review
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Anwendungsgebiete: Halbleiterfertigung
Oberflächenbeschichtungen, Coatings
- Antireflexschichten
- Filter; Filterschichten
- Schutzschichten
Displayfertigung
- Cell Gap
- Polimide
- ITO Schichten
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Mehr Informationen zur Software |
MCS-TFM in Kombination mit Leica DM6000 Mikroskop |
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Oberfläche der Schichtdickenmessung | | |
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