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Infrared Microscopy for e.g. adjustment or front/backside alignment on Si-Wafers

Infrared Microscopy for e.g. adjustment or front/backside alignment on Si-Wafers

We customize IR microscopes depending on your requirements. Please ask us.
Wir stellen IR-Mikroskope nach Kundenanforderungen zusammen. Bitte fragen Sie an.

 
Art.No.:IR_mikroskop


Description:
 
The view switches back and forth between front- and backside of the specimen. The frontside was illuminated with visible incident light (without IR filter).

The brightly illustrated parts appear dark on the infrared illuminated backside.

Beschreibung:

IR-Mikroskope sind mit speziellen IR-Objektiven ausgerüstet. Da das infrarote Spektrum für das menschliche Auge nicht sichtbar ist, gibt es keinen "normalen" Einblick. Deshalb kommt hier eine IR-empfindliche Kamera zum Einsatz. Als Beleuchtung dient ein Durchlicht mit hohem IR-Anteil.
Range of applications:
  • Backside inspection
  • Inspection without damage of internal parts
  • Top bottom alignment (e.g. wafers)
Einsatzgebiete:
  • Rückseiteninspektion
  • zerstörungsfreie Inspektion innen liegender Bauteile
  • Top-Bottom-Alignment (z.B. Wafer)
Example of Application:

The view switches back and forth between front- and backside of the specimen. The frontside was illuminated with visible incident light (without IR filter).

The brightly illustrated parts appear dark on the infrared illuminated backside.

Anwendungsbeispiel:
Die Ansicht wechselt zwischen Vorder- und Rückseite des Bauteils. Die Vorderseite wurde mit sichtbarem Auflicht beleuchtet (ohne IR-Filter).
 
Die Teile, die hier hell zu sehen sind, erscheinen auf der mit Infrarot-Durchlicht beleuchteten Rückseite dunkel.
 IR-mikroskopie.gif
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